¿Qué es el sensor FBAR?

Un resonador acústico a granel de película delgada (FBAR o TFBAR) es un dispositivo que consiste en un material piezoeléctrico intercalado entre dos electrodos y aislado acústicamente del medio circundante. Los dispositivos FBAR que usan películas piezoeléctricas con espesores que varían desde varios micrómetros hasta una décima parte de los micrómetros resuenan en el rango de frecuencia de aproximadamente 100 MHz a 10 GHz. El nitruro de aluminio y el óxido de zinc son dos materiales piezoeléctricos comunes utilizados en los FBAR.

Una aplicación común de los FBAR son los filtros de radiofrecuencia (RF) para usar en teléfonos celulares y otras aplicaciones inalámbricas.

Dichos filtros están hechos de una red de resonadores (ya sea en topologías de media escalera, de escalera completa, en celosía o apiladas) y están diseñados para eliminar la transmisión de frecuencias no deseadas en dichos dispositivos, al tiempo que permiten que se reciban y transmitan otras frecuencias específicas. Los filtros FBAR también se pueden encontrar en dúplex. Han reemplazado parcialmente una tecnología anterior basada en dispositivos de ondas acústicas de superficie (SAW), debido a un tamaño más pequeño y una mayor eficiencia de fabricación y operación.

Los FBAR pueden ser utilizados por osciladores de microondas.

Los FBAR se pueden usar en aplicaciones de sensores. Por ejemplo, cuando un dispositivo FBAR se somete a presión mecánica, su frecuencia de resonancia cambiará.

Los FBAR también se pueden integrar con amplificadores de potencia o amplificadores de bajo ruido para formar una solución de módulo integrado, como el módulo de duplexor PA o el módulo de filtro LNA.

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