No estoy seguro de cómo responder esa pregunta, porque los sensores y actuadores son funciones, y MEMS es una tecnología que se puede utilizar para producir estas funciones.
Entonces, un MEMS puede ser un sensor y / o un actuador. Se puede hacer un sensor usando la tecnología MEMS. Se puede hacer un actuador utilizando la tecnología MEMS.
La mayoría de las veces, cuando compra un dispositivo MEMS, tiene una parte electromecánica, el MEMS muere y un ASIC para administrarlo (una interfaz entre el sistema eléctrico y el MEMS, ya sea para pilotar un actuador, para convertir el señal del sensor a algo comprensible, o ambos si tiene ambos). Están empaquetados juntos, por lo que realmente ve una caja negra lista para soldar.
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Por lo tanto, la función del sensor / actuador es proporcionar una interfaz entre un mundo eléctrico y el mundo físico con el que interactúa: un transductor.
Eso responde tu pregunta?