Un acelerómetro es un dispositivo que típicamente mide la aceleración moviendo una masa en un sistema de resorte y determinando la desviación del resorte a medida que el acelerómetro se mueve hacia adelante y hacia atrás en su eje de detección. La deflexión del resorte según las leyes del resorte es proporcional a la fuerza y constante del resorte, por lo que puede resolver A = dx / m
El acelerómetro tradicional puede usar un sistema con una masa suspendida por un resorte y un sensor para determinar la deflexión.
Un sensor de estado sólido tiene todos los elementos que pueden fabricarse en un proceso de deposición de semiconductores y micro maquinado. Existen varios enfoques, como el uso de un mecanismo de resorte en voladizo recortado para determinar la deflexión con sensores capacitivos.
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Como beneficio adicional, es teóricamente posible integrar el preamplificador de semiconductores en el mismo sustrato reduciendo el tamaño. Costo y ruido.
A menudo se denominan sensores MEM, acelerómetros de estado sólido y otros nombres.
