Un sensor que se fabrica utilizando técnicas de microfabricación y micro mecanizado se denomina sensores MEMS o micro sensores.
MEMS significa sistemas microelectromecánicos, es una tecnología utilizada para la micro fabricación de componentes eléctricos y mecánicos en una sola oblea.
Hay 4 componentes de MEMS:
- ¿El mal funcionamiento del circuito del sensor de posición del cigüeñal puede provocar un fallo de encendido?
- Cómo conectar un sensor como un termómetro o un manómetro a una computadora
- ¿Podemos tener un sistema de control de retroalimentación sin sensores? ¿Hay alguna forma de estimar?
- ¿Qué es el medidor Magneto?
- ¿Los sensores de rayos X están dañados por los rayos X que detectan?
- Micro actuadores
- micro estructuras
- Micro sensores
- Microelectrónica
Los dispositivos o sensores basados en MEMS son componentes cruciales en diversas áreas disciplinarias, como equipos médicos, electrónica automotriz y electrónica portátil como periféricos de computadora, discos duros, teléfonos celulares, dispositivos inalámbricos, etc.
Algunos tipos de sensores enumerados:
- La detección y medición de movimiento se vuelve más fácil y muy precisa con los acelerómetros MEMS (detectan la fuerza estática y dinámica de la aceleración), que se utilizan más comúnmente como sensores de choque para sistemas de bolsas de aire.
- Los giroscopios MEMS se utilizan para detectar y medir la velocidad angular de un objeto.
- Los sensores de presión MEMS miden la diferencia de presión en un diafragma de silicio.
- Los sensores de campo magnético ampliamente utilizados para medir los campos magnéticos y las aplicaciones de dichos sensores incluyen detección de posición, detección de corriente, detección de velocidad, detección de vehículos, etc.
- Los sensores magnéticos resonantes pueden detectar los campos magnéticos con una sensibilidad de hasta 1T y también tienen una resolución máxima alcanzable de 1nT.
